二手 PSK DAS 2000 #9276091 待售
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ID: 9276091
晶圆大小: 8"
PR Stripper, 8"
Cassette: (2) Stages
MFC Process gas:
(2) 4% H2/N2 500 sccm
(2) O2 3SLM
(2) N2 1000 sccm
Purge gas: N2
FCIP:
Microwave: ASTEX FI20160-1
Maximum output: 3.0 kW
M/W Power head:
ASTEX FI20162-1
ASTEX FI20162-3
Aligner: RA101A-010
PUMP:
Pressure control: MKS 653B-2-50-2
Pressure gauge capacidense manometer: MKS 626A 2-Torr
Power supply:
Main power: AC, 208 V, 150 A, 3Φ, 60 Hz, 21700 VA, 60 FLA
UPS Power AC, 208 V, 20 A, 1Φ, 60 Hz, 2080 VA, 10 FLA
Transfer robot: RR701L 120-Z20-011
Robot controller: RRS701-RC420-SUCU
Main PC
MFC: AERA FC-D980C.
PSK DAS 2000是一种高效率的晶圆蚀刻器/灰度设备,专为中小型蚀刻和灰度应用而设计。该系统采用改进和可升级的设计,具有更强的过程控制、高分辨率成像等新功能,并且设计简单易用。该装置利用两个紧密耦合的腔室和一个传送带设计，便于装载。第一室是预蚀刻/预灰室，它提供在蚀刻或灰化之前适当制备晶片表面所需的原子氧。该腔室集成了先进的热壁射频输入电源,与传统的射频电源相比,它使高温和低压操作能够提供卓越的性能和更大的灵活性。第二室是利用先进的低压单频、多目标辉光放电电源的等离子体蚀刻/灰化室。集成控制器提供易于理解的图形用户界面,集成选项可用于屏幕上显示压力、功率和温度读数。该腔室还增强了对诸如精度、一致性和钝化等蚀刻/灰化参数的控制。该机器还配备了先进的图像捕捉工具，使用户能够记录蚀刻图样并对其进行分析，以获得更大的控制和可重复性。此外,该资产还提供了可编程报警模型和过程中止功能等卓越的安全功能。总体而言,PSK DAS-2000是一种极其高效和全面的蚀刻/粉碎机设备,旨在提供比其前代产品更高级别的过程控制和更好的结果。直观的系统设计提供了更快的实现时间,同时其易于使用的图形用户界面和强大的功能使其成为实验室和工业蚀刻和灰化的理想选择。
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