二手 PSK DAS III #9243656 待售

PSK DAS III是一款高性能的asher/etcher，旨在提供对蚀刻和ashing工艺的完全控制。它能够产生从标准光刻蚀刻到先进溅射和反应性离子蚀刻的各种定制工艺。DAS III使用双热源来实现对每个蚀刻工艺的精确调节和控制，以最小的基板损坏提供一致的结果输出。该设备设计用于三维阵列，具有很高的真空能力，能够在不受污染的情况下进行蚀刻过程。该系统还具有高性能扫描掩码,可以精确定义要蚀刻的模式,包括PSK DAS III可以识别和补偿的模式中的任何不规则性。DAS III包括多区室设计，允许蚀刻室的不同工艺区域调谐到不同的温度，允许精确成型的蚀刻和均匀的蚀刻深度。可编程联锁确保处理参数（如气体压力、温度和流率）保持在最佳范围内。此外，一个综合盒式磁带库提供了有组织的查取工件的通道，以便在没有污染的情况下有效地装卸蚀刻室内的样品。腔室温度控制在最高200 °C，允许高蚀刻速率，而不会损坏热敏基板。该单元还具有集成的诊断系统，如实时数据收集和参数监控软件，可帮助操作员优化机器运行。PSK DAS III还包括一个实验室专用接口，允许与实验室流程和数据收集兼容。凭借可靠、用户友好的性能,DAS III对您的蚀刻过程提供了出色的控制。