二手 PSK DES-212-304AVLIII #9269462 待售

PSK DES-212-304AVLIII是一种最先进的蚀刻和灰化设备,旨在处理各种基材,包括金属、聚合物和玻璃。该系统配有一个PECVD反应堆，带有一个石英管来沉积涂层和一个升降单元来分离单个结构。PSK DES 212 304 AVL III具有重型不锈钢工艺室，带有垂直移动的晶圆载体，设计用于蚀刻和灰化过程中的温度均匀性。DES-212-304AVLIII提供了一系列先进的工艺能力，并以专用的腔室控制和监测系统为后盾。该蚀刻器配备了可编程的珀尔帖温度控制器，用于监控和维护工艺温度。该机还配备了高精度质量流控制器，用于精确测量工艺气体。蚀刻和灰化过程也使用高性能的触摸面板显示器进行监控和控制。DES 212 304 AVL III蚀刻器能够处理尺寸不超过8 "x 8" （203mm x 203mm）的基板。它配备了包括反应性离子蚀刻（RIE）、感应耦合等离子体蚀刻（ICP）、化学蚀刻和湿蚀刻在内的精密蚀刻和灰化技术。该工具设计用于加工最高温度600摄氏度、最大压力760托的基板。此外，PSK DES-212-304AVLIII具有独特的保护涂层沉积后处理站和内置的安全互锁资产。蚀刻器还包括广泛的原位和异地计量和检查能力。该模型具有可靠的数据存储和检索选项，便于进一步分析和优化蚀刻和灰化过程。PSK DES 212 304 AVL III蚀刻器设计为提供可靠的处理性能,效率最高,产量最大。该蚀刻器配备了用户友好的图形界面和易于访问的点击命令，以便快速、方便地操作。该蚀刻器非常适合广泛的研发应用。