二手 PSK Evolite 2 #293639178 待售

PSK Evolite 2
ID: 293639178
晶圆大小: 12"
Asher, 12" (2) Chambers.
PSK Evolite 2是一款为生产微电子元件而设计的蚀刻器/asher。机器配备了两个湿化学加工模块-第一个用于蚀刻或粉刷,第二个用于在表面沉积一层保护性树脂。这两个模块协同工作,在生产甚至最复杂的微电子元件时创造出精确和统一的结果。Evolite 2具有广泛的工艺流程,包括湿蚀刻/asher、干蚀刻/asher和自旋/asher工艺流程。它的设计采用简单的"环状清洁"操作,具有独特的喷嘴设计--"蛇形喷嘴"--用于精确的流量控制。喷嘴具有可调节的高度以匹配任何晶片堆栈的轮廓,这有助于确保可重复的性能。PSK Evolite 2还具有广泛的工艺室,从标准聚苯乙烯容器到定制石英容器。这台机器是完全自动化的,与一系列安全系统兼容,从自动减压装置到温度控制系统。它使用专有的PICOS软件进行编程,并为各种流程预配置配方。Evolite 2是聚合物、陶瓷基板、金属薄膜和其他微电子元件的干燥蚀刻或灰化的理想选择。它提供对蚀刻或灰化过程的精确控制,同时产生统一的结果。该机使用方便,自动化系统确保人员安全。由于其先进的特性和可靠的性能,PSK Evolite 2是生产微电子的理想工具。
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