二手 PSK Evolite 2 #9259692 待售

ID: 9259692
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Asher, 12" (2) Chambers 2011 vintage.
PSK Evolite 2是一种蚀刻器/asher,非常适合各种基板的高通量处理。它配备了比以前型号更大的处理面积,允许更高的吞吐量和生产率。蚀刻器/asher具有自动化过程的用户友好性,可提供各种优化过程参数。Evolite 2有蚀刻和灰化两个截然不同的过程。在蚀刻过程中,PSK Evolite 2所产生的微波被用来有选择地去除基板上的材料。该蚀刻工艺可用于对某些基板进行高精度的光滑和图样处理。在灰化过程中,高强度的微波导致挥发性物质挥发,并迅速从基板上除去。这样就形成了干净、清晰的表面光洁度。Evolite 2还有一个可调节的微波频率,可以通过直观的图形用户界面来控制。此功能允许精确且可重复的结果。它包括一个紫外线屏蔽快门和一个温度监测设备可靠的结果,而不损坏基板。PSK Evolite 2提供从60摄氏度到350C的各种工艺温度。这种温度范围允许在加工不同类型的基板时具有更高的灵活性。它还提供了一个可选的真空系统,非常适合需要低温的精细工艺。Evolite 2还配备了独特的专利待定电极旋转单元。这台机器允许快速更改进程参数,允许用户从一个进程快速移动到另一个进程。最后,PSK Evolite 2有一个可选的氮气供应惰性大气处理。总体而言,Evolite 2是一款顶级蚀刻器/asher,具有直观的控件和多种功能,非常适合高吞吐量处理和精确的结果。
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