二手 PSK Evolite 2 #9259698 待售

ID: 9259698
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Asher, 12" EFEM 2011 vintage.
PSK Evolite 2是一款由PASS Equipment Korn Field GmbH开发的高级蚀刻器/asher。它是一种高效节能的蚀刻和灰化系统,可用于多种应用。它使用最新的PECVD技术,或等离子体增强化学气相沉积,来创建蚀刻或灰化过程。这项技术是蚀刻基板的最有效和最具成本效益的方法之一,因为它所需的功率比传统的蚀刻和灰化方法要少。Evolite 2具有模块化设计,可根据应用程序进行定制,并具有用于控制蚀刻过程的PECVD头。它被设计用来蚀刻和粉刷各种底物,包括硅、砷化移铵和金属氧化物。可以利用压力、温度和等离子体离子密度等多种参数来控制和优化蚀刻和灰化过程。这一级别的控制和优化确保了每个蚀刻/灰化过程都能获得最佳质量的基材结果。PSK Evolite 2还有一个先进的腔室清洁单元,有助于保持工艺腔室及其环境的清洁度。这样可确保维护所有工艺参数以获得最佳蚀刻和灰化结果。清洁室还提高了工艺的可重复性和可靠性,这意味着使用相同配方处理的每个基板批次都会有一致的结果。此外,Evolite 2还增加了一台冷却机,以防止在蚀刻/灰化过程中产生的热量造成过多的热损坏。冷却工具还有助于保持即使环境温度升高的蚀刻/灰化过程,以及在发生事故时提供额外的安全级别。最后,PSK Evolite 2还包括一个热像仪,提供实时图像的过程室。这有助于确保在每个蚀刻/灰化过程中正确设置和监视进程参数。总体而言,Evolite 2是一种最先进的蚀刻/灰化资产,可提供高效一致的结果。它提供了极大的多功能性,因为它可以定制以满足各种应用程序的要求,并且能够使用热成像相机实时监控蚀刻/灰化过程。这使得它成为蚀刻和粉刷各种基材的理想选择。
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