二手 PSK Supra III #9276759 待售

PSK Supra III
ID: 9276759
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
System, 12" 2006 vintage.
PSK Supra III是一款高性能蚀刻器和asher设备,旨在满足工业和学术应用的需求。它能够进行蚀刻、灰化和基材制备过程。该系统使用专利技术进行表面修改,可将蚀刻时间减少多达80%。Supra III能够使用硅、氮化硅、铝、钛等材料操作SiO2层或氧化层。该单元配备了用于用户界面和控制的触摸屏界面。它还提供了一个集成的软件套件来控制蚀刻、灰化和基板制备过程。软件可配置为处理不同的层材料和厚度。软件还允许生成详细的处理结果报告。PSK Supra III有一个晶片库,单次运行最多可容纳31个晶片。集成转移工具(T-Tool)允许同时在蚀刻室之间自动转移晶圆。T-Tool也允许自动晶圆调度,确保遵循正确的流程顺序。该机还配备了全自动清洗模块,并配有一个全封闭的ashing腔室,以确保清洁环境的ashing过程。Ashing chamber can be operated in the petched or ashed mode.此外,该工具能够实现对蚀刻过程的精确温度控制,从而实现优化性能。Supra III是一种强大的蚀刻工具,能够精确控制各种基材的蚀刻参数。此资产旨在为用户提供高性能的蚀刻和灰化功能,使他们能够快速可靠地制造自己的电路、组件和产品。
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