二手 PSK Supra III #9281480 待售

PSK Supra III是一种蚀刻器/asher，设计用于自动化半导体处理应用。它是一种高速、高压、经济实惠的蚀刻/灰分解决方桉。该设备由一个整体垂直管炉、一个多区热区、一个旋转行星蚀刻/灰烬室和一个自动化的过程控制接口组成。该系统可精确控制蚀刻/灰化工艺的温度和时间。垂直管炉具有直径33.5英寸的空腔，能够达到1220°C的最高温度。炉子有一个内部加热区，以统一加热整个工艺管。热区由三个带可调节的电能输入和独立的温度控制组成。热区由下区、中间区和上区组成。热区在整个加工管中提供均匀的温度分布。旋转行星蚀刻/灰烬室设计为提供最佳蚀刻/灰烬剖面。腔室由一个可容纳各种基板支架的旋转盘组成，以高达13.5 rpm的速度旋转，并能够在高达303 mBar的压力下运行。该室包括一个温度控制淋浴的自动单元，可用于进一步均匀化蚀刻/灰分剖面。Supra III包括一个完全自动化的过程控制界面,用于完全控制蚀刻/灰化过程。该接口允许设置可调节的参数,如预调整温度、蚀刻/灰烬停留时间、容器压力、磁盘旋转速度、淋浴温度和其他参数。此外,界面还提供了具有各种显示选项的过程的全面视图。界面还提供实时监控，可用于生成在线报告。PSK Supra III是高通量自动化的理想蚀刻/灰解决方桉。它在自动化环境中提供一致、可靠的性能。通过提供对工艺温度和时间的精确控制，机器允许重复蚀刻/灰烬性能。该工具的灵活性使其适用于各种蚀刻/灰烬工艺。