二手 PSK Supra IV #293638921 待售

PSK Supra IV是半导体和MEMS行业中用于精密蚀刻和灰化的最先进的蚀刻/灰化设备。该系统由先进的直流电源和高功率射频发电机组成，能够在各种工作负载中对晶片进行极其精确和高效的处理。该装置设有一个50立方英尺的加工室，在广泛的基材尺寸和温度范围内提供均匀的蚀刻和灰化。坚固的设备设计用于在生产运行中提供可重复的结果,同时易于调整以满足各个流程的需求。为确保性能一致、操作正确，该机配备了全功能硬件和软件接口。Supra IV利用了工厂自动化的最新工具，使其与一系列晶圆加工机和机器人技术完全兼容。直流电源可提供高达1350 VDC的电压,即使是最细腻的基板,也能实现紧密的基板完整性和精确的加工。该源的最大输出电流为700安培，保证了较高的蚀刻和灰化速度以及较低的等离子体损伤。为了对工艺进行精确控制,源还提供了可调脉冲宽度,使用户能够微调蚀刻或灰化工艺,以获得最佳质量和均匀性。所有流程都可以通过内置的数字显示器和随附的软件进行监控和控制。PSK Supra IV包括两台射频发生器,可实现高产率和结果的重复性。专利的电弧稳定工具允许低成本、高保真处理的高吞吐量。这些发电机旨在减少功耗，并在所有处理模式下提供最佳的电气性能。发电机可提供高达1000瓦的最大射频功率,从而实现高速传输、蚀刻和灰化。电流和功率完全可调节,允许用户在不影响产品质量的情况下控制蚀刻或灰度。为了安全起见，该资产采用了质量最高的部件，提供了防止触电和防止电弧闪光点火的保护。压力控制模型还监测等离子体在腔内的状态，必要时迅速冷却腔内。可以安装可选的烟雾提取套件，进一步降低环境中危险颗粒的风险。Supra IV是一种尖端蚀刻器/asher，适用于从大学研究到商业生产线等广泛的苛刻蚀刻和灰化应用。其先进的功能集使得它非常适合复杂的作业，其用户友好的界面使得它易于设置和操作。