二手 PSK TERA 21 #9235220 待售

PSK TERA 21
製造商
PSK
模型
TERA 21
ID: 9235220
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Asher, 12" 2003 vintage.
PSK TERA 21是一款紧凑、轻巧、用户友好的蚀刻器/asher,专为模式生成、氧化、多层处理等一般半导体应用而设计。它具有令人印象深刻的一系列功能,如顶级进料工艺配方设备、用于控制工艺室内气体压力的气体升降机、安全高效的真空包络以及低维护要求。TERA 21 蚀刻器/asher还为操作员提供便利,它具有一系列可编程的功能,可促进高效和准确的操作。PSK TERA 21系统包括一个极可靠的自动射频发生器,在蚀刻/ashing过程中保持恒定的压力,具有直观的用户界面,使操作员能够快速准确地调整参数以达到最大效果。该单元还包括一台具有广泛工艺配方的前置进料机,使其能够处理不同类型的蚀刻和灰化工艺。这使它能够为一系列应用程序提供一致的结果。TERA 21 蚀刻器/asher的模块化结构允许方便的安装和维护,并且该工具的设计高度卫生和安全,可用于各种洁净室和实验室过程。该资产还采用了先进的多级输出控制模型,用于管理工艺室期间的气体压力,从而确保整个设备安全高效的真空包络。此外,系统还具有高级冷却机制,可用于高性能过程。总体而言,PSK TERA 21 蚀刻器/asher是一种高效、通用的半导体制造和其他类似工艺解决方桉。凭借其广泛的功能、先进的冷却机制和安全功能,TERA 21是一系列蚀刻和灰化工艺的绝佳选择。该设备非常用户友好,易于安装和维护,并在一系列应用程序中提供出色的效果。
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