二手 PSK TERA 21 #9244821 待售

PSK TERA 21是一款蚀刻器/asher，旨在为研发项目提供精密蚀刻和灰化工艺。该蚀刻器利用大气压力等离子体技术，对工艺参数进行精确控制，从而产生高质量的结果。该装置采用两种宽幅气体系统；一个用于蚀刻，一个用于粉刷。它具有可选的冷板冷却设备,可精确控制所施加气体的温度和压力以及蚀刻/粉刷表面的温度。TERA 21具有一个大的基板保持室和一个磁屏蔽的工作室，允许高分辨率的蚀刻/灰化与最小的污染。腔室内部由不锈钢和陶瓷涂层铝构成，保证了维护方便和热效率高。供气系统采用热传输管线的质量流控制器，确保对过程中使用的气体进行准确控制。PSK TERA 21中的工艺控制单元基于先进的PLC技术,允许设置和存储特定的蚀刻/灰化参数。位于接口附近的控制旋钮可用于拨入任何给定进程所需的参数。同样的控制机也被用来控制可选的冷却工具；通过冷却板调节蚀刻/灰化表面的温度。该设备具有多种安全功能，如打开腔室时自动关闭和紧急停止按钮。气体供应资产也被放置在一个单独的房间里，进一步将装置与任何潜在的危险隔离开来。设计TERA 21时考虑到方便和方便用户。所有组件都是模块化的,无需任何工具即可轻松更换。此外，显示面板设有多语言菜单，让任何国家背景的操作员都能快速熟悉控制模式。最后，该装置能够连接到标准的压缩气体供应系统。