二手 PSK TERA 21 #9250689 待售
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PSK TERA 21是一款为半导体晶片的高精度蚀刻和修剪而设计的蚀刻器/asher。它具有最先进的蚀刻和擦除设备,能够提供高达20米μ的处理分辨率。该系统是建立在一个强大的框架与先进的X-Y轴装置和精密控制的电镀单元。该机设有内置测量、检查、调节功能的自动化控制单元。这使用户能够快速准确地调整蚀刻和擦除过程的参数。TERA 21的蚀刻和擦除单元包含4个高速蚀刻头,每个蚀刻头的极细分辨率为每步0.2 μ m。机器能够在几秒钟内改变输出、压力、温度和频率。蚀刻装置的可调压力范围为0.5至2.2帕秒,温度范围为0°C至40 °C。它还配备了6个不同的蚀刻和擦除执行器,可设置时间从0.2秒到5.0秒。该蚀刻器/灰化器的设计目的是在不破坏晶片结构的情况下实现精确的蚀刻结果。其独特的设计确保蚀刻工艺快速、高效、高度均匀。此外,此工具还能够进行多方向蚀刻,从而提高了蚀刻的效率和准确性。除了蚀刻,PSK TERA 21还提供一系列的修剪服务。这些服务包括晶圆圆周修剪、切片、切片和模具加工。所有修剪操作的最大对角选择为90°。资产的电镀单元包括四个可单独调节的电镀头,允许用户根据自己的要求调整工艺。TERA 21旨在提供易于使用和维护的高度精确的蚀刻和修剪解决方桉。它的自动化控制模型包括数据管理功能,可以方便地检索和比较参数。此外,该机器设计为提供灵活性和易用性,允许用户根据自己的喜好快速调整和操纵蚀刻和修剪过程的设置。这种高效可靠的蚀刻修剪装置使用维护方便,保证了优良的质量和可靠性。
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