二手 PSK TERA 21 #9259689 待售
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ID: 9259689
Asher, 12"
(2) Chambers
EFEM
Transfer Module (TM)
Process Module (PM)
AC Rack
Cables
2004 vintage.
PSK TERA 21是市场上最先进的蚀刻器/灰烬之一。它是化学蚀刻和灰化工艺的创新解决方桉，可用于精细和超精细特征的开发。这种设备能够利用很小的占地面积生产大批量产品。TERA 21配备了高热稳定性、高速蚀刻和具有精确压力和温度控制的灰度等广泛的适应性过程增强功能，为实现快速循环时间和可重复结果提供了可靠的途径。该系统具有无应力真空烤箱室设计和多区温度控制功能，能够精确地蚀刻和粉刷材料。所有设置、参数、配方和工艺都可以在几分钟内预先保存和重复使用,以便进行可靠和高效的蚀刻。该装置采用惰性气体回填和高温，以防止氧化和污染蚀刻表面。蚀刻器/灰化器利用一种特殊的气体清洗机来防止任何重氧化的颗粒从加热器室中渗出。PSK TERA 21可实现超细选择性,这对于处理当今复杂的微型IC至关重要。它支持包括高温合金、TiN/TiWN、Au/Ti、Al/Ti等多种不同材料。在高温下运行的能力允许处理高长宽比、深结构和/或窄结构以及复杂的3 D微结构。该工具具有嵌入式控制器、操作软件和计时器,使蚀刻过程完全自动化。该资产设计方便操作和维护，可以连接到网络进行监控和处理数据传输。TERA 21能够产生高循环可重复结果，使其成为研究和生产的理想选择，为精细和超精细特征的成功开发提供了最大的蚀刻能力和精度。
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