二手 PSK TERA 21 #9270662 待售

PSK TERA 21是一种蚀刻器/asher，设计用于半导体材料的精密蚀刻和灰化。它是一种计算机控制设备，提供广泛的工艺能力，包括选择性、高精度、低压蚀刻和深度等离子体灰化。它专为满足先进半导体制造的需要而设计。该系统配备了13.56MHz发射器和30MHz-400MHz接收天线。这提供了蚀刻基板上材料所需的射频功率。天线还充当接收器，提供用于监控蚀刻反应的输出信号。蚀刻过程通过基于PC/SC的软件进行监控和控制，该软件可用于调整蚀刻参数以达到所需的效果。该单元具有独立的等离子体源，能够实现蚀刻选择性和工艺优化。它还配备了独立的气体输送机，允许精确控制蚀刻介质。该工具还具有集成的负载锁,允许双向加载样品并缩短整个循环时间。资产有一个自动化的流程监控模型，可以在流程漂移变得严重之前检测到流程漂移。这有助于确保流程的一致性和可靠性。设备的集成负载锁允许在工艺阶段之间进行快速晶圆传输，其手动控制选项为手动操作提供了更大的灵活性。该系统能够在低至1mTorr的压力下执行蚀刻过程。这使设备能够以最小的失真蚀刻即使是最精致的材料,从而确保高精度的蚀刻结果。该机还具有集成的流程验证功能，有助于确保流程的可重复性和可靠性。总体而言，TERA 21是半导体制造的理想蚀刻器/灰化器，提供精密蚀刻、灰化和深度等离子体处理。它兼具先进的特点、易用性和可靠性，是半导体材料精密蚀刻和灰化的绝佳选择。