二手 PSK TERA 21 #9355264 待售

PSK TERA 21是一款高效可靠的蚀刻和粉刷设备，专门为半导体行业的先进加工而设计。这种多功能的蚀刻器/灰化器为各种工艺提供了高通量和灵活性，如薄膜蚀刻和氧化物沉积。TERA 21在单个晶片上具有超高的200W吞吐量,可产生高达200 nm/min的速率。通过这种能力,紧凑的单晶片系统能够快速处理多达200晶片/小时。此外，通用的气体输送设备可以方便地调整各种气体浓度水平，使用户能够精确地调整其工艺配方，以满足严格的要求。通用的PSK TERA 21还能够应用广泛的反应性物质来源，如氯、三氯化硼、氟、SF6和半导体加工中使用的其他化学品。它配备了自动射频匹配电路技术，能够准确、精确地传送所需的物种浓度。该系统也是可靠和高度精确的，温度控制耐受性高达± 1°C，每次都能实现可重复的工艺结果。这个先进的蚀刻器/asher单元还提供精湛的蚀刻产品均匀性和产量。其先进的光学和图像识别系统提供产品质量保证以及单位晶圆的高产量。此外,功能强大的电子控制和视频监视器为用户提供了易于使用的界面,从而使蚀刻/asher过程更加安全和高效。综上所述，TERA 21是一种可靠和高性能的蚀刻器/asher工具，非常适合先进的半导体加工。其通用的气体输送系统确保所需物种的精确输送,超高的吞吐量使产量达到200纳米/分钟。此外，温度控制、图像识别系统和视频监视器为完整的过程控制提供了一个易于使用的界面。