二手 PSK TERA 21S #9241274 待售

PSK TERA 21S是由PSK Technologies制造的最先进的蚀刻器/asher。设计用于加工高端晶圆等薄材料如二氧化硅、聚酰亚胺。它特别适合于涉及最先进的半导体制造、MEMS和微系统的应用。该设备采用PLC（可编程逻辑控制器）接口，便于集成到各种自动化系统中。TERA 21S设计用于200 mm和300 mm晶圆尺寸的生产级基材加工。它利用线性扫描和交错的步骤在基板上均匀分布蚀刻/灰分。自动预对齐器可对所有批次的位置和方向进行可重复对齐。多锡非接触无气体等离子体源在晶圆上提供均匀的蚀刻/灰分沉积条件。该系统还配备了五步顺序关闭单元，以确保保持可靠的电气特性。PSK TERA 21S非常适合用于连续批处理方桉。它具有可调工艺速率、无氯NF化学、等离子体电弧焊（PAW）功能等几个特点。它还具有在线测量功能，可以实时调整工艺参数。这样可以快速、方便地校准机器以获得最佳结果。TERA 21S还包括一个高通量处理机器人，它是为快速准确的基板装卸而设计的。这个机器人有一个基于模式识别的运动工具，节省时间，减少错误。机器人还有一个有源金属离子过滤器，有助于确保高质量的蚀刻/灰分结果。该资产还具有高温能力，温度范围为-20至+250 °C。PSK TERA 21S与ISO-9002和SANTON认证完全兼容,确保了高质量的蚀刻/灰分结果。该模型具有运行时间快、可配置的可编程逻辑、自动预对准器以及多锡非接触无气体等离子体源，是晶圆等薄材料高精度蚀刻/灰化的理想选择。