二手 PVA 350 #9032147 待售
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PVA 350是一款先进的高通量蚀刻器/asher,专为350 mm基材尺寸的钝化、蚀刻和灰化应用而设计。它提供了行业领先的工艺能力,具有坚固和可扩展的设备设计,允许各种蚀刻化学。该系统具有先进的功能和现代化的过程控制功能,使制造商能够协调复杂的刀具循环,具有卓越的可重复性和可靠性。350包含一个用于蚀刻过程的大腔室,并配有一个可提升的舱口,以允许有效的基板处理。利用模块化设计,该装置能够采用几种蚀刻工具,包括振动器、旋转蚀刻器、化学浴和等离子体灰烬,以及单面和双面工艺。它还具有高度可配置性,允许用户自定义流程周期、工具增强和其他功能升级。该机器的设计还考虑到用户安全,安全的联锁、通风的外壳和自动安全关闭系统。此外,用户友好的触摸屏还提供了对过程参数的可编程控制,包括温度、时间和刀具旋转速度,以确保精确和可重复的蚀刻周期。凭借其先进的功能,PVA 350能够为高级封装、MEMS和光电行业的各种定制应用提供高质量的蚀刻解决方桉。
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