二手 PVA 350 #9198731 待售

PVA 350是为高通量处理而设计的蚀刻和灰化设备。它用于半导体工业，在制造这些器件的过程中从晶片中去除有机材料和污染物薄膜。350系统使用感应耦合等离子体（ICP）生成原子粒子,这些粒子与正在处理的晶圆表面相互作用并去除材料。这种ICP技术是现有最精确的蚀刻/灰化工艺之一，提供了高度的准确性、可重复性和均匀性。PVA 350单元还配备了多项功能,使其特别方便用户。这些特点包括自动通路、用于精确晶圆识别的数字OCR、ICP机器的精确功率控制、先进的真空控制工具以及可靠而健壮的控制资产。350可以从晶片表面到几个埃的深度蚀刻材料，使其成为晶片制造的理想工具。它还能够生成高分辨率图像，使其成为计量和检查的绝佳选择。该型号可以同时容纳8英寸和12英寸晶圆，并且可以与多种现有系统集成。它还提供室内清洁和远程诊断,使其易于维护和操作。总体而言,PVA 350是一种可靠且用途广泛的蚀刻和灰化设备。其ICP技术确保了准确和可重复的结果，而用户友好的功能使得它很容易使用。对于任何半导体制造应用来说，350都是绝佳的选择。