二手 PVA 650 #293804324 待售

PVA 650是由高精度射频（RF）动力技术的全球领先者Plasma-Therm开发的蚀刻器/asher。它是为各种基材而设计的。650最适合于尺寸从单模到全晶圆的基材,并且已针对前端线（FEOL）和后端线（BEOL）工艺进行了优化。PVA 650是一种中型微蚀刻设备，其腔室尺寸为51.2 in x 51.2 in x 43 in （LxWxH）。先进的真空系统、不锈钢和陶瓷材料制成的腔室以及内置的触摸屏控件使其成为各种蚀刻和灰化应用的最佳选择。该机组典型的底压额定值为6 x 10-7 Torr，其技术使其能够维持较高的工艺温度（最高540°C）。650利用感应耦合射频技术为高度受控、高效的蚀刻和灰化过程生成等离子体环境。它使用热阴极和"冷"质流控制器来提供对等离子体和蚀刻气体的精确控制。PVA 650还配备了双极电源单元，使其能够产生独立的正负功率水平，以帮助蚀刻应用。650的先进功能使它能够提供出色的过程控制和可重复性。机器的可编程淋浴头可以用来提供完整的覆盖甚至复杂的基板。其旋转电极调节射频电场和脉冲功率，以精确匹配蚀刻速率。PVA 650还具有自动填充功能,允许最少的操作员交互,并为扩展运行提供不间断的蚀刻和灰化操作,周期时间从30秒到几个小时不等,具体取决于所需的进程类型。650也是为长期运行和性能而建。该工具是为严密的尺寸稳定性而设计的，并利用新兴的安全特性，如氮气净化资产、先进的锁和操作人员安全的快速打开舱门。总体而言,PVA 650是各种蚀刻和灰化应用的绝佳选择。其先进的特性、强大的技术和确保的过程可重复性使其成为那些需要精确的过程控制和长期可靠性的人的理想选择。