二手 PVA 650 #293804887 待售
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PVA 650是一种蚀刻器/灰化器，用于光刻和样品制备应用。它是一种电动、全自动化的设备，专门为各向异性蚀刻硅和砷化的半导体材料而设计。650系统提供快速、精确的晶片和模具蚀刻，具有极好的均匀性和可重复性。PVA 650利用主动偏置增强等离子体技术进行蚀刻，产生极好的蚀刻速率和可控轮廓，对样品的损害最小。它有一个石英工艺室，使样品的加热和冷却均匀。还可以安装一个负载锁定单元，将样品带入加工室。控制器会根据需要自动调整参数，如温度、压力、流量和其他工艺参数。650还包括先进的软件，使用户能够自动化晶圆处理，以及与其他系统集成和互连。该软件还具有流程控制、配方管理、监控、数据采集和报告功能。通过使用软件，用户还可以根据使用情况跟踪他们的流程历史记录和修改配方。总体而言,PVA 650为蚀刻和样品制备应用程序提供了高吞吐量、卓越性能和更高的生产率。它是一个强大的，灵活的机器，可以提供最好的结果与最小的维护。它具有用户友好的界面和自动化功能，适用于研究和工业环境。
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