二手 PVA 650 #293804899 待售
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ID: 293804899
优质的: 2012
Conformal coating machine
Brushless DC Servo motor
Work area: 500 mm x 500 mm x 100 mm (19.68" x 19.68" x 3.94")
Travel speed: 0 to 700 mm/sec (0 to 27.6 in/sec)
Repeatability: 0.025 mm (0.001)
Resolution: 0.015 mm (0.0006)
Air requirements: 80 psi
Conveyor speed: Up to 80 ft/min (24.4 m/min)
Operator interface: LCD Screen with function keys
Conveyor process flow:
Programable right to left / left to right
Power supply: 120V, 220 V, +/-10%, 50-60 Hz
2012 vintage.
PVA 650是设计用于半导体加工的先进蚀刻器和asher。它具有强大的上游气体输送设备和高精度、低烧蚀等离子体室。蚀刻室可以处理各种各样的温度、压力和蚀刻化学，使其适用于一系列的半导体应用。650的隔离等离子体腔设计用于气体流动、压力和温度的长期稳定，提供了高度可靠的蚀刻工艺。为确保对蚀刻参数的精确控制，PVA 650包括可选的实时压力和温度控制。上游气体输送系统能够同时溷合多达五种工艺气体，从而可以采用各种各样的蚀刻化学方法。利用650的专利晶体蚀刻技术，可以达到高达500纳米的蚀刻深度。PVA 650的均匀性是其最大的强度，因为它最大限度地减少了微缺陷并产生一贯的高质量结果。整体单元使用方便，维护最少，适合大批量生产。两个直观的触摸屏使设置过程参数变得容易。该机还与标准真空系统兼容，进一步降低了维护成本。在可能的情况下，650会自动优化蚀刻参数，从而使操作员摆脱繁琐的人工计算。PVA 650与可比干蚀刻器相比速度优越，高端蚀刻速率为每分钟70纳米，吞吐量为每小时35晶圆。这一高吞吐量加上可靠的蚀刻结果，使得650成为当今半导体应用市场上最合适的蚀刻和asher工具之一。
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