二手 PVA 650 #293805825 待售

PVA 650是由Paul V. Anderson製造的蚀刻器/asher。该设备专为需要晶圆和基材精密蚀刻/灰化的应用而设计。650适用于半导体器件生产、研发、试验、校准、生产线过程控制。PVA 650是一种两室设备，一室用于蚀刻，另一室用于灰化。蚀刻室设有四个石英喷头，总流量为每分钟9立方英尺（CFM）的蚀刻气体，分别为0.75%氟龙-CF ² -4（CFC14）和99.25%的干氮（N ²）。灰室设有两个石英淋浴头，总流量为1 CFM氮和2 CFM氧气。650的温度控制系统具有热反馈回路,可确保蚀刻/灰化室的高温稳定性。PVA 650的单元还具有高科技的可编程逻辑控制器（PLC），具有直观的用户控制和先进的热保护功能。PLC使用户能够控制蚀刻/灰化过程参数,包括时间、温度、流速和压力。该机还包括一个内置的计算机监视器和用户界面，用于工具的一键式控制和设置的手动控制。650的结构坚固可靠，主要由不锈钢和特氟龙构成。蚀刻/灰化室的设计可承受高达PVA 650°摄氏度（华氏1202°）的温度，以及高压和真空。650标配以下配件：电源、压力传感器、温度传感器、气流控制阀、1/4"锁紧扳手、PVA-PVA 650 PLC集成计算机资产。650旨在满足各种需求，在各种半导体器件中提供精确的蚀刻和化学气相沉积。适用于加工薄晶片、基材等微结构。此可靠模型旨在实现可重复的过程、卓越的蚀刻、灰化和CVD性能、低拥有成本和高吞吐量。