二手 PVA 650 #9266554 待售
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ID: 9266554
优质的: 2008
Conformal coating machine
3-Axis gantry style robot work cell
Intended for dispensing / Application
Conformal coating / Liquids
(2) Dispensing heads
Work area: 18" x 18" x 4"
Repeatability: 0.001"
3-Axis servo motors
Silicone rubber application machine
Computer programming / Control
THK SKR33 Series precision XYZ linear motion
And modules with servo motors
THK HR20 Linear motion guides X and Y axes
Galil motion controller
Open-center edge belt conveyor, 43" (Side-to-side)
Pneumatic stops conveyor
SMEMA Conveyor communications
Compressed air
Computer hard drive missing
Power: 208 VAC, Single phase
2008 vintage.
PVA 650是一种先进的反应性离子蚀刻（RIE）系统，设计用于各种材料的沉积和蚀刻，包括金属、陶瓷和半导体。650是一款经济高效、高度自动化的蚀刻器/asher,具有高精度对齐、高达500 mm/秒的闪亮速度,即使对于复杂的几何形状也能获得可靠的结果。它采用了最先进的反应性离子束蚀刻（RIBE）技术，产生了可控和高度可重复的蚀刻和沉积结果。PVA 650坚固的设计消除了对外部颗粒过滤器的需求，使其维护操作低下，无需频繁维护或清理。其高端自动化功能可在多个方向上实现可靠和准确的处理,包括垂直、角度和自对齐操作。650配备了创新的触摸屏界面和先进的软件算法，以其先进的功能确保重复的准确性。其高速全轴运动驱动蚀刻沉积过程，最大精度为0.01 μ m。PVA 650还具有闭环控制、空白循环/间隙循环、目标形状/尺寸过程监测、冷壁/热壁积液和基板温度控制等先进的工艺控制功能，可实现更高质量的沉积和蚀刻。该系统由不锈钢、铝和特殊铸铝制成，其框架和固定装置均具有优异的耐用性和耐腐蚀性。它旨在满足严格的安全要求，并提供更高水平的用户安全。650与多种材料兼容，包括石英、玻璃和感光膜，能够加工6"和8"基板。它还提供了优越的晶体品质和精细复杂的图样在其蚀刻和沉积结果，使其成为一个顶级的线系统的各种应用。
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