二手 PVA 650 #9374963 待售

PVA 650是一款为制造先进的Silicon和GaAs集成电路而设计的蚀刻器/asher。它是一种高度通用的机器，能够产生许多不同的蚀刻图样，具有极好的精度和可重复性。650利用感应耦合等离子体（ICP）源,实现低压过程,确保低蚀刻速率与宽度之比,使其非常适合进行更高精度的蚀刻作业。比较方桉来源还提供了更高程度的一致性和可重复性，以确保可重复的结果。PVA 650极易使用和配置。用户界面非常直观,允许操作员轻松选择所需的操作参数。此外,该设备还包括特殊软件,可自动生成复杂蚀刻组合的设计文件,为更复杂的蚀刻作业提供易于导航的菜单和预编程配方。650由300-W射频发电机供电。这保证了等离子体能量的快速高效传递，使机器能够加工出广泛的材料，包括硅、砷化的，等等。机器的腔室内部容积241升，高度305毫米，内径610毫米，允许较大的蚀刻面积。PVA 650还具有对所有操作组件进行自我诊断检查的功能。这确保了高可靠性和耐用性,并减少了停机时间和维护需求。该系统还提供了多种安全功能，包括阳极和腔室保护免受ESD和电弧放电的影响，防止过热的热感知单元，以及超压保护。650是一台完整的蚀刻和灰化机，提供精密蚀刻任务所需的卓越性能和可靠性。其强大、直观的设计使其成为任何工业蚀刻工艺的理想选择。