二手 PVA 650 #9400631 待售

PVA 650是用于制造微电子器件的等离子体蚀刻器/灰化器。它是一款高性能、技术先进的蚀刻器/asher，旨在满足半导体行业的要求。650由不锈钢室构成，设计为在整个工作区域提供均匀的等离子体蚀刻或灰化器。它的设计允许垂直蚀刻孔（深度可达3mm），并能蚀刻包括硅、碳化硅、氮化的各类基板。此外，它还能蚀刻铝、铜、钛等金属。PVA 650具有10.4英寸显示屏和直观的触摸屏操作功能,极易使用。它还包括一个12 "x 12"工作区和一个用于快速吞吐量的新型腔室清洗系统。此外，650具有高效的高频偏置，能够精确控制底物表面的离子能量。它还提供最高300 °C的高温工艺能力,可以满足要求最苛刻的蚀刻和灰化要求。PVA 650具有很高的可靠性和良好的正常运行时间，并设计了安全措施，以确保最佳工作条件。建立了各种互锁系统，以保护人员和设备。此外,还实施了自动化的流程监控、高级配方和用户密码保护,以方便日常操作和流程控制。650是一种多功能设备,可实现广泛的蚀刻和灰化应用,非常适合多种领域,包括无接触封装、MEMS制造、微加工等。此外，这套先进的系统非常适合真正的生产和研究工作，提供高蚀刻速率、精确的等离子体控制和高效的重复性。