二手 PVA TEPLA 300 AL PC #293753962 待售

PVA TEPLA 300 AL PC
ID: 293753962
晶圆大小: 6"
优质的: 2004
Plasma asher, 6" 2004 vintage.
PVA TEPLA 300 AL PC是由等离子体表面处理溶液全球领先者PVA TEPLA AG制造的尖端等离子体蚀刻器/灰化器。这种先进的设备是专门为各个行业,如半导体、MEMS、光学、微电子等广泛基板的精确高效等离子体加工而设计的。300 AL PC提供了用户友好的界面、卓越的过程控制以及高可靠性,可实现一致和高质量的结果。PVA TEPLA 300 AL PC利用先进的等离子体技术,以高精度和均匀性蚀刻和灰分基板。该系统配有坚固耐用的铝制腔室,确保出色的热稳定性和高真空性能。该腔室的设计可以容纳各种样本量和形状,使其在不同的应用中具有高度的通用性。此外,该室还具有可靠的气体输送和排气系统,能够精确控制工艺参数。300 AL PC的关键特征之一是其创新的等离子体生成单元。该机利用高频射频功率在腔内产生稳定均匀的等离子体放电。这种等离子体源对于激活气体分子和产生与底物表面相互作用的反应性物质有选择地蚀刻或灰烬材料是必不可少的。该工具允许精确控制等离子体参数,如气体流速、压力水平和功率设置,以优化特定应用的过程。PVA TEPLA 300 AL PC配备了先进的过程监控能力,以确保一致和可重现的结果。该资产具有实时等离子体诊断功能,如光学发射光谱和质谱,能够对等离子体化学和过程动力学进行现场监测。此反馈回路允许对工艺参数进行实时调整,以保持最佳条件并实现所需的蚀刻或灰分速率。此外,300 AL PC配备了用户友好的界面和直观的软件控制模型,简化了操作和数据分析。该设备的软件为通用流程提供了一系列预先编程的配方,并允许用户自定义和保存其流程参数以备将来使用。此外,该软件还提供全面的数据记录和报告功能,使用户能够跟踪流程性能并优化其工作流。总之,PVA TEPLA 300 AL PC是一种尖端的等离子体蚀刻器/灰化器,它为各种基材的精确和高效处理提供了先进的能力。凭借其创新的等离子体生成系统、稳健的腔室设计、先进的工艺控制特性,该单元非常适合研发、试生产、小批量制造应用。300 AL PC为等离子体处理设备设定了新标准,帮助客户以无与伦比的精度和可靠性实现表面处理和材料处理的目标。
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