二手 PVA TEPLA 300 #293619367 待售

PVA TEPLA 300是一种蚀刻器/灰化器，一种物理气相沉积（PVD）系统，用于薄膜应用。广泛用于Ti、Cr、Al等耐火材料和Cu、Mo、Pd、W、Re化合物等金属的薄膜沉积。300保留了广泛的功能：它能够在直径最大为12英寸（PVA TEPLA 300毫米）的基板上工作，保持从RT到750°C（RT=室温）范围内的精确加热，均匀度± 2°C。它还具有很高的沉积速率和优异的可重复性，使其适用于各种应用，包括集成电路制造、薄膜溅射、晶圆级封装和微机电系统（MEMS）。300具有大面积的薄膜沉积工艺室。该腔室有对称气体PTFE扩散窗和两个独立的溅射枪，最多可支撑三个敏感器或两个晶片，直径可达12英寸。真空系统为工艺室提供了0.005 mbar的底压，可以达到10 mbar的最大压力。PVA TEPLA 300配备了七段显示屏的集成数字控制器和电阻触摸键盘。用户界面直观易用，允许简化沉积参数编程，如基板形状、溅射枪侧面、沉积时间、发光时间和功率。300在薄膜沉积过程中提供了出色的均匀性、重复性和准确性。它还有一个服务和备件小组作为后盾，他们可以就各种应用程序提供技术支持和咨询。