二手 PVA TEPLA 400 #293821967 待售
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ID: 293821967
优质的: 2006
Microwave plasma system
Runtime: ~8000+ hours
Main unit only
Excluded items: vacuum pump, gas supply system
2006 vintage.
PVA TEPLA 400是由Plasma-Therm开发和生产的蚀刻器和asher。这种技术先进的设备对于需要蚀刻或灰化的各种工艺来说是一种非常宝贵的工具。它被半导体制造、微电子、生命科学研究等行业所使用。400由一个先进的真空处理工具组成,该工具可容纳下一代等离子体源、处理器室、源室和微型MFC。等离子体源用于在处理器腔中生成受控的等离子体，而源腔用于生成更强大的等离子体。微型MFC用于控制等离子体。这使得PVA TEPLA 400能够以环境安全的方式准确地进行蚀刻和灰化过程。400提供精确和可重复结果的能力非常高效。其专利的声悬浮技术消除了蚀刻剂和加工晶圆之间的接触，创造了一个非热环境。这样可以最大程度地减少晶片上的应力,并确保一致的蚀刻/灰化过程。PVA TEPLA 400还提供了多种旨在确保过程安全和稳定性的功能。其气体界面控制（GIC）系统确保了优化的射频功率传递，而自动氢氟酸洗涤器则消除了机载蚀刻和灰化残留物。此外,还内置了400个流程诊断程序,使操作员能够快速分析和微调流程。PVA TEPLA 400是一款来自Plasma-Therm的精密蚀刻器/asher,可为工艺工程师提供卓越的功能。它确保了精确和可重复的性能,而其高级功能最大限度地提高了安全性和控制力。对于许多需要蚀刻/灰化工艺的行业来说,400肯定是一笔宝贵的资产。
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