二手 PVA TEPLA 600 #68457 待售

PVA TEPLA 600是一款高性能的蚀刻器/asher，用于去除许多表面的二氧化硅和氮化硅层，用于内存和逻辑芯片的生产。该系统是一种高温、化学辅助的蚀刻工具，使用户能够以均匀的蚀刻速率快速有效地清除二氧化硅和氮化硅层。这种单一晶片蚀刻器/asher具有出色的分辨率和高通量，低化学消耗，导致高产量和极精确的模式在基板上。600是一种化学辅助蚀刻/灰化器，意味着表面用等离子体和与底物表面反应的化学物质处理。Asher允许超低残留物用于改善粘合剂和电接触性能。其专有的加载辅助蚀刻工艺允许均匀的蚀刻速率，从而产生高产率和出色的分辨率。TEPLA PVA TEPLA 600的化学消耗量较低,这要归功于它的循环化学和环状抗污染特性。循环化学特性有助于最大限度地减少昂贵的化学废物，优化化学补充的成本。这种再循环技术还可以提高蚀刻速率均匀性。600包括一个集成的自动化化学再生系统，允许延长化学寿命。其他特性包括可编程高压电源、全光刻剂量能力、柔性工艺气体溷合。自动气体溷合允许使用多种蚀刻配方以及负载锁配置。为改进反应控制，包括了环状抗污染和定时注射方桉。PVA TEPLA 600是从晶圆中去除二氧化硅和氮化硅层的理想工具。该系统的高科技特性，如再循环化学和自动气体溷合，加上低化学消耗，使用户能够以最低成本实现最高产量的精确模式。