二手 PVA TEPLA / METROLINE 400 #9266257 待售

PVA TEPLA/METROLINE 400是一种用于半导体器件制造的基板精密蚀刻和灰化的蚀刻/灰化设备。该系统利用经专利验证的等离子体产生技术，将电能转移到气态放电中，产生均匀、均匀的等离子体，创造理想的蚀刻和灰化条件。该装置采用电动卡盘，用于安全的基板转移，自动控制一致蚀刻剖面的参数，高效排气过滤，坚固结构，以实现精确的蚀刻均匀性。该机设计具有互锁保护、惰性气体流量监测、过温保护等多项安全功能。蚀刻器/asher具有大的蚀刻室,可确保在整个基板平面上均匀蚀刻。集成式真空鼓风机在室内保持恒定的气氛。快速、精确的质量流控制器调节用于蚀刻和灰化的气体比例。水平椭圆天线产生低频射频等离子体，产生具有低水平射频能面相互作用的均匀蚀刻轮廓。该工具还与各种气体兼容，包括O2、CF4、CHF3、HBr、NH4F和NF3。它还有一个温度控制资产，能够达到240°C的最高温度，并包括一个用于精确温度控制的精密热电偶和加热器。PVA TEPLA 400还具有集成的基板冷却机制,可确保蚀刻和灰化后的蚀刻和灰化部件快速冷却。除了型号的蚀刻功能外，设备还包括允许用户监控所有系统参数的软件包，以及与PVA专有的Dataway工艺管理单元的标准连接。这些功能允许完全记录和控制蚀刻和灰化过程,从而使用户能够完全控制其过程。该机适用于需要精密、高产蚀刻和灰化的制造环境。