二手 PVA TEPLA Sam 400 Twin #9354414 待售

PVA TEPLA Sam 400 Twin是一款针对半导体和MEMS生产的苛刻需求而设计的先进蚀刻器/asher。双站设计允许单个设备同时处理蚀刻和灰化过程,使其非常适合最大化吞吐量和效率。工业级的Sam 400 Twin为所有类型的材料提供全自动蚀刻/灰化设备,从硅胶和玻璃到陶瓷、金属和塑料。它有两个独立的站，每个站由一个高精度、反射式OTF（光学瞄准指纹）蚀刻平台和一个温度范围高达500 °C的强大石英管微波消光器组成。OTF目标化平台具有独特的点扫描技术，具有自动粗细聚焦感测功能。这样可以对具有高纵横比形式的精密覆盖层的小特征进行高精度蚀刻。微波炉利用先进的多轴旋转运动，降低微粗度，提高整体表面光洁度。它还具有高能离子源和具有集成安全功能的自动控制系统，以确保高效、安全的运行。组合的蚀刻/ashing单元带有多种可选功能和附件。空气冷却机和可调节的排气口允许量身定制和优化的过程控制,而内置的可视编码工具和RFID识别则可以快速轻松地识别零件。还提供了广泛的过程监测系统（如高温计、质谱仪和红外材料计），以提供对所有蚀刻和灰化过程的全面数据收集和监测。总体而言,PVA TEPLA Sam 400 Twin是为满足半导体和MEMS生产的苛刻需求而设计的高级蚀刻器/asher。它提供了各种材料的快速、精确的蚀刻和粉刷,并能够根据用户需求定制和优化工艺。内置的安全和监控功能有助于提高安全性和效率,而各种选项和附件有助于提高任何流程的总体吞吐量。