二手 PVA TEPLA Sam 400 Twin #9354440 待售

ID: 9354440
晶圆大小: 4"
Scanning Acoustic Microscope (SAM), 4" (2) OLYMPUS Transducers (2) PC Systems Operating system: Windows XP Equipped with: Pegasus motion controller PVA Hilbert filter RP H1 Remote pulser Pulser and receiver unit.
PVA TEPLA Sam 400 Twin是一款为科技应用而设计的高端蚀刻器/asher。该机器能够蚀刻/灰化到高达0.1微米的深度,精度± 2微米。该单元在手动和半自动模式下操作,使用具有无限变量的真空室,以容纳广泛的基板、材料和加工解决方桉。Sam 400 Twin配备精密控制器界面和图形触摸屏显示屏,为操作员提供高效、用户友好的工具。PVA TEPLA Sam 400 Twin进行的化学蚀刻/灰化过程分四个方便步骤进行:预处理、开室、蚀刻/灰化和后处理。预处理步骤确保基板上没有碎屑和化学残留物。随后进行蚀刻/灰化过程,在此过程中,先进的蚀刻/灰化气体供应和真空的小流量确保精密的蚀刻/灰分工艺,对基板的损坏最小。使用该系统,蚀刻/灰分可以随时暂停以进行工艺验证,从而实现蚀刻/灰分的最高精度。该系统还包括一个后处理步骤,以消除加工气体的痕迹,帮助防止污染,同时避免二次清洁协议。最后,可以打开腔室卸载基板,加工完成。Sam 400 Twin还可以配备多种传感器和控制器,以进一步细化蚀刻/灰化工艺。该装置有许多实用的、可定制的配件,旨在提高系统的性能。PVA TEPLA Sam 400 Twin配备的兼容材料范围包括所有等级的硅、塑料、陶瓷、玻璃和石英。Sam 400 Twin的整体设计极为耐用、耐热、耐腐蚀。该设备采用强大耐用的电机,可保证可靠的性能和更长的使用寿命。精密电气部件采用隔热箱保护,以提高可靠性和运行维护。PVA TEPLA Sam 400 Twin是一款高性能的蚀刻器/灰化器,在微机械加工和蚀刻应用方面效果优异。用户将受益于机器可靠的性能、先进的流程和广泛的兼容材料。
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