二手 PVA TEPLA Sam 400 Twin #9354501 待售
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ID: 9354501
晶圆大小: 4"
Scanning Acoustic Microscope (SAM), 4"
(2) OLYMPUS Transducers
(2) PC Systems
Operating system: Windows XP
Equipped with:
Pegasus motion controller
PVA Hilbert filter
RP H1 Remote pulser
Pulser and receiver unit.
PVA TEPLA Sam 400 Twin是一款高性能蚀刻器/asher,专为各类基材的优越蚀刻/灰化而设计。它是市场上最先进的蚀刻/灰化系统之一,能够在较短的蚀刻/灰化时间内获得非常精确的结果。该装置具有双蚀刻/灰分处理室,可分别加热和控制,以获得最佳的蚀刻/灰分性能。双室可以用不同的参数编程,对不同物质进行蚀刻/灰分处理。该设备提供了多种蚀刻/灰分循环类型和步骤序列,可根据基材类型进行调整。Sam 400 Twin提供了许多高级功能。它具有先进的材料和过程控制系统来监测反应过程,以及易于操作的数字控制器,使用户能够调整各种参数。它可以支撑大范围的气压和温度,并有一个集成的过滤单元,用于去除蚀刻/灰化气体溷合物中的杂质。PVA TEPLA Sam 400 Twin能够在单面和双面模式下运行。在单面模式下,加载单个晶片并将其移动到工艺室进行蚀刻/灰化。在双面模式下,两个晶片加载到压板的相对两侧,然后将其降低到加工室内,以便在两侧进行蚀刻/灰化。该单元的设计可以方便地维护和更换部件,从而延长使用寿命。它配备了各种机器维修配件和工具,如过滤刷和样品支架,以优化样品材料的去除。总体而言,Sam 400 Twin是一款高级蚀刻器/Asher,旨在提供出色的蚀刻/灰化效果,而且蚀刻/灰化时间较短。它具有强大的功能、先进的材料和过程控制以及易于维护的组合,使其成为各种蚀刻/灰化应用程序的理想多合一解决方桉。
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