二手 PVA TEPLA / TECHNICS 300-E #9049959 待售

ID: 9049959
Plasma cleaning unit Applications: Photoresist stripping Mask etching Surface cleaning Etching of class and ceramics Etching of SiO2 Si3N4 Si Removal of Polyimid and Passivation layer process chamber Quartz with Kapton cover (3) Separate gas channels Maximum rate per channel: 500 sccm Working pressure: 0.5-1.5 mbar 250 V, 15 A.
PVA TEPLA/TECHNICS 300-E是一种蚀刻器/asher,用于各种表面整理操作。此蚀刻器/asher具有多种功能和应用程序。TECHNICS 300-E利用电阻加热工艺快速蚀刻和粉刷表面.它能够使零件承受高达250°C的温度范围、最高± 1°C的温度调节范围和最高30秒的时间控制范围。温度控制精度为± 2°C,可以0.1°C的增量调节。此蚀刻器/asher专为单区域热处理而设计,能够在垂直和水平模式下运行。它还具有真空储罐设计,能够精确的过程重复性,以获得更准确和一致的结果。该蚀刻机配备了一个自动安全系统,该系统包括一个IC温度控制器和地面故障装置,以及一个紧急停止开关。内置冷却系统可确保不超过操作温度限制,从而保护样品。PVA TEPLA 300E提供了单片、批、半批等各种蚀刻和灰化配置。它具有200毫米(宽)x 300毫米(长)x 250毫米(深)的加工室尺寸和SiC加热元件,用于样品的均匀加热。它还能够进行14英寸晶圆处理。总体而言,300-E是一种针对高效、精确的表面精加工操作而设计的蚀刻器/灰化器。配备了工艺室尺寸、温度控制、可调时间控制、紧急停止开关、IC温度控制等多种功能。它还包括各种蚀刻和ashing配置,以满足运营商的具体需求。
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