二手 PVA TEPLA / TECHNICS 300 TL1000 #9247548 待售

PVA TEPLA/TECHNICS 300 TL1000 Asher是为工业用途而设计的高性能蚀刻器。是适用于所有半导体应用的气控、单晶片和批处理设备。Asher使用化学和物理过程的组合来蚀刻各种基材中的图样和结构。所使用的气体是氧气和挥发性有机蒸气的组合，与惰性氮气溷合。腔室压力保持在恒定水平，以确保可重复和准确的工艺结果。TECHNICS 300 TL1000 Asher配备了多种功能,以确保质量和可靠性一致。它能够产生超过100 nm/min的蚀刻或蚀刻溅射速率，最大吞吐量为每小时30晶圆。此外,asher能够处理不同大小、形状和类型的基板。用户界面提供了状态和参数设置的清晰视图，以及全面的实时过程监控。PVA TEPLA 300 TL1000 Asher的供气系统旨在为气体提供稳定和可重复的剂量率。所有气体都储存在气体浓度和流量得到精确控制的室内。通过多个气体入口维持气体溷合物的均匀分布，以确保整个基板上均匀的蚀刻或溅射速率。300 TL1000 Asher配备了多项安全功能,以保护人员和设备。该装置有一个门联锁装置，当机器运行时，该装置不能进入密室。先进的灭火工具可确保预防危险情况。此外,还对整个资产进行了CE安全合规性测试和认证。PVA TEPLA/TECHNICS 300 TL1000 Asher还配备了多种工艺控制选项,以确保均匀的蚀刻或溅射速率,变化最小。温度、压力和其他变量可以通过超精确反馈回路进行监控和控制。加热模型旨在防止腔壁过热，减少反应时间，确保过程结果均匀。最后，TECHNICS 300 TL1000 Asher是一种可靠、高效的蚀刻器/Asher，适用于要求最苛刻的半导体应用。其高吞吐量和易于使用的接口允许一致和可重复的过程结果。它配备了全面的安全功能和过程控制选项，以确保安全和准确性。