二手 PVA TEPLA / TECHNICS 400 #9169197 待售
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已售出
ID: 9169197
优质的: 2003
Plasma cleaners
Process chamber:
Material: Aluminum
Volume: 64 Liters
Chamber door: Aluminum
QUARTZ Inspection window: 100 mm
With ultraviolet and high-frequency radiation protection
Vacuum system:
Process pressure: ~0.2 - 2 mbar
Gas and vacuum piping:
High-grade steel
1/4" SWAGELOK Connections with aluminum KF components
Gas supply: 2 - 4 Separate gas ducts (2) option, metering by mass-flow controller
Venting: Solenoid valve and series throttle valve
Vacuum:
Ultimate pressure: ~0.03 mbar
Evacuation time up to 0.5 mbar: ~0.5 minutes
Vacuum measurement: Capacitive pressure gauge
Measuring range: 0.01 to 10 mbar
Microwave generator:
Regulated MAGNETRON
Frequency: 2.45 GHz
Power output: 0-1000 W
Fault monitoring: Overload protection
Control unit:
Process time
HF Output
Process pressure
Gas flow
Hardware: Centronics printer interface
Silicon keyboard:
Numeric keypad
Cursor block
Softkeys
Special function keys
Connections:
Plug and socket connection: 24V AC Vacuum pump switch-on relay, 1A microfuse
Control connection for external vacuum valve: 24 V AC
Vacuum connection: DN 63 KF
Gas connections:
(2) Process gases, supply pressure: 1 - 3 Bar vent connection
Supply pressure: 0.5 - 1 Bar
Cooling-system exhaust air: Pipe connection 100 mm outside Ø
Process gases:
Oxygen (O2)
Tetrafluoromethane (CF4)
Argon (Ar)
Helium (He)
Nitrogen (N2)
Air
Nitrous oxide (N2O)
Carbon dioxide (CO2)
Main power supply: 230 V, 50 / 60 Hz, Protected by 15 A slow-blow fuse
Power consumption: 2 kW Without pump
2003 vintage.
PVA TEPLA/TECHNICS 400是一种用于创建电路板的蚀刻/灰化设备。该系统非常适合最先进的工业应用，为表面蚀刻和化学蚀刻应用提供了高效可靠的工艺。该单元包括一个基座、一张桌子、一个蚀刻罐和一个控制器。还配有电源单元、通用计数单元、蚀刻控制机。TECHNICS 400配备了产生精确、可重复蚀刻速率的等离子弧技术。该技术可用于在同一基板上产生多种蚀刻深度。蚀刻速率也可以很容易地调整以产生垂直或水平蚀刻图桉。该工具还带有可调节的工艺温度,可根据正在执行的特定蚀刻类型进行调整。PVA TEPLA 400资产还配备了具有大型液晶显示屏的直观用户界面。这样可以方便地监视和调整蚀刻工艺参数,以及可视化工艺状态。此外，该模型还配备了集成氯气发生器，可自动感应氯气的存在并相应调整蚀刻速率。这样可以确保蚀刻过程中的最大安全性和效率。400设备还包括许多不同的蚀刻配件，如氧气和一氧化二氮调节器、钳子、真空泵和真空发生器。这些配件对于执行更精确的蚀刻操作至关重要。此外,系统还提供了详细的操作手册,其中提供了有关蚀刻过程的清晰、逐步的说明。总之,PVA TEPLA/TECHNICS 400蚀刻/灰化装置是一种功能强大且可靠的机器,适用于工业和自行操作。它为用户提供精确的蚀刻速率，方便的过程监控和调整，以及大量的蚀刻配件，以提高准确性和可靠性。
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