二手 PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 300 #9358976 待售

PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 300是一款高性能蚀刻器/asher,专为大容量蚀刻和灰化应用而设计。该设备利用行之有效的核心技术,提供高水平的蚀刻和灰化效率以及产品质量。TECHNICS Gigabatch 300基于可靠、精确的微处理器控制垂直结构，带有一个大的开放式腔室，可容纳各种各样的晶圆和基板。该蚀刻器具有直观的触摸屏人机界面（HMI），用于设置过程参数。用户可以在没有事先知识或专业知识的情况下快速方便地控制蚀刻器/蚀刻器。PVA TEPLA Gigabatch 300具有丰富的功能,可提高蚀刻和灰化工艺的有效性。它包括一个先进的机器人堆栈系统，用于快速、安全地装卸晶片和基板。蚀刻器/灰化器的工艺温度范围从300 °F到900 °F不等,可按5 °F的增量进行调节,以便更好地控制工艺中的精度。还包括一个实时监测过程的原位石英晶体光谱仪。Gigabatch 300具有高效的气体输送装置,允许用户为其工艺选择理想的气体溷合物。选定的气体储存在一个普通的气体箱中，允许精确的气体输送到载荷室。此外,该机设计用于低维护和易于维护的过程.PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 300还具有防漏、高效的负载锁定工具,可确保工艺室内的清洁反应。资产还有一个蒸汽再循环模型，用于维持反应室内的温度剖面。这将确保晶片的快速冷却，从而降低工艺成本。TECHNICS Gigabatch 300旨在提供出色的蚀刻或灰化工艺重复性,非常适合以经济实惠的价格进行大容量蚀刻和灰化的客户。PVA TEPLA Gigabatch 300具有多种功能,是在各种工业和学术环境中进行蚀刻和灰化的绝佳选择。