二手 PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 360M #293799363 待售
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PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 360M 蚀刻器/asher是一种生产级机器,旨在满足各种工业和学术应用的蚀刻和灰化需求。TECHNICS Gigabatch 360M具有惊人的20 nm/min吞吐量,是一款用途广泛、高精度的机器,可轻松高效地执行一系列蚀刻和灰化操作。PVA TEPLA Gigabatch 360M利用专利、磁性和热隔离的高分辨率蚀刻和灰化设备,每次都能产生准确的结果。该炉采用高纯度、导电材料,利用计算机控制的系统在整个加热过程中调节温度。该单元还提供了广泛的安全功能,如可编程安全关闭、施加电压过电流保护、地面故障监控和低排放设计。机器本身利用高达200 kHz的射频功率来增强蚀刻和灰化性能。它配备了可编程脉冲选项,可以在不牺牲速度或吞吐量的情况下精确控制蚀刻和灰化循环。此功能对于希望在不牺牲生产效率的情况下最大化蚀刻和灰化精度的用户特别有利。在效率方面,Gigabatch 360M具有先进的蚀刻阶段,该阶段旨在利用闭环反馈机提供精确的温度控制。这有助于确保所有蚀刻和灰化操作的准确性和统一性。此外,先进的文丘里喷嘴配置在沉积过程中提供了高度的均匀性。PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 360M是一种精心设计的蚀刻和灰化工具,旨在满足各种工业和学术需求。凭借其高精度的蚀刻和ashing资产、精密的安全特性和坚固的性能,对于那些寻求可靠和通用的蚀刻和ashing解决方桉的用户来说,它是一个绝佳的选择。
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