二手 PVA TEPLA / TECHNICS GIGAbatch 380P #293637792 待售

ID: 293637792
Plasma system.
PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch 380P是一种高端蚀刻器/asher设备,适用于从批量生产到直列生产的一系列应用。该系统具有真空工艺和高通量生产的优化技术。TECHNICS GIGAbatch 380P利用先进的过程控制单元,配有配方驱动的软件,从而实现了简单、可重复的过程设置和持续的过程优化。机器内置的过程分析能力进一步保证了可重复和最优的过程结果。此外,所有工艺参数都可以从用户友好的触摸面板上调节,可以链接到PC上;允许TEPLAPVA TEPLA GIGAbatch 380P针对几乎任何生产环境进行定制。在GIGAbatch 380P的物理构建方面,支持坚固而重型的10英寸晶圆(á200mm),可确保重复和一致的蚀刻过程。这种晶片可以加工12á25mm的基材,具有均匀的蚀刻,整个批次的工艺结果分布均匀且均匀。此外,串联颗粒过滤器可确保蚀刻过程不受污染。PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch 380P还配备了一系列先进的工艺化学进料和液晶显示器,进一步确保了所有材料的一致和安全处理。该工具还提供低水平的液体消耗,由于其有效的反应浓度。最后,集成到TECHNICS GIGAbatch中的安全功能380P确保用户的安心。该资产设计为以安全可靠的方式运行,同时提供最高级别的精度、可靠性和质量控制。这种彻底的测试有助于确保整个产品生命周期内蚀刻/灰化过程的过程稳定性和可转移性。
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