二手 PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 380P #293798850 待售

PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch 380P是专门为各种蚀刻和灰化应用而设计的蚀刻器/灰化器。TECHNICS GIGAbatch 380P具有潜在的静止外部接触，使其能够在抗蚀刻和等离子体灰化应用中控制低电平电流。该设备的占地面积很小,非常适合在狭窄的空间中使用。此外,PVA TEPLA GIGAbatch 380P具有过程和操作监控功能,可根据需要进行系统优化。GIGAbatch 380P提供精确的处理参数同步,从而实现准确可靠的蚀刻和灰化过程。此外，蚀刻器/灰化器配备了优化的前体和气体分布，使得该装置高效。此外，PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch 380P的设计既能产生高蚀刻率，又能产生低排泄率。蚀刻器/灰化器装有惰性腔室和精确的温度和压力控制。这样可以确保设备和用户的处理准确性和安全性。腔室由特氟龙制成，既耐用又易于清洁。此外,TECHNICS GIGAbatch 380P能够对金属、多晶硅和外延硅等多种材料进行蚀刻、灰化、防反射涂层和背蚀,使其成为一种通用设备。PVA TEPLA GIGAbatch 380P具有内置的控制器,同时具有模拟和数字输入功能,使设备极其用户友好。液晶触摸屏还可以方便地操作和监控过程。此外,该设备还具有智能监控系统,可向用户发出有关潜在流程错误的警报。总体而言，GIGAbatch 380P是各种应用的理想蚀刻器/asher；PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch具有优化的前体和气体分布、温度和压力控制以及LCD触摸屏等特点,使PVA TEPLA/TECHNICS 380P一种高效可靠的设备。