二手 PVA TEPLA / TECHNICS IoN 100/40Q #293731588 待售

ID: 293731588
晶圆大小: 4"-6"
System, 4"-6" Type: RF Batch tool Gas: O2/N2 XDS35 Pump.
TECHNICS IoN 100/40Q是一种精密的蚀刻/asher设备,设计用于对半导体、微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)和光学工业中的各种材料进行精确、均匀的等离子体处理。这一尖端系统提供了用于蚀刻、清洁和表面修改应用的高级功能,使其成为研发实验室和生产设施的重要工具。PVA TEPLA IoN 100/40Q的核心是其高性能等离子体源,它产生了一个适合各种工艺化学的高反应性等离子体环境。该设备具有坚固的射频电源,可为等离子体电源提供精确的功率级别,从而确保一致且可重现的处理结果。IoN 100/40Q凭借其先进的气流控制机,可以实现对工艺气体组成和流速的精确控制,使用户能够量身定制等离子体化学,以满足特定的加工要求。PVA TEPLA/TECHNICS IoN 100/40Q配备了最先进的工艺室,旨在在整个基板表面提供出色的工艺均匀性。该室采用高纯度石英结构,与各种工艺气体和化学物质兼容。该室还配备了精确的温度控制系统,以维持稳定的工艺环境,确保从运行到运行的一致结果。TECHNICS IoN 100/40Q的主要特点之一是其先进的自动化功能,它简化了流程开发和生产工作流程。该工具配备了一个用户友好界面,使操作员能够轻松设置和监控处理配方。自动化功能包括配方管理、实时流程监控和数据记录功能,使用户能够随时间优化流程参数和跟踪流程性能。PVA TEPLA IoN 100/40Q提供了广泛的处理模式,以适应不同的应用和材料。资产可以同时执行蚀刻和灰化过程,使其成为各种曲面修改任务的通用工具。无论用户需要在半导体晶片上蚀刻精确的图样,还是清洁和激活用于粘合应用的表面,物联网100/40Q都能以卓越的精度和控制提供所需的性能。总之,PVA TEPLA/TECHNICS IoN 100/40Q是一种顶级的蚀刻器/asher模型,它结合了尖端技术和先进的自动化能力,为各种应用提供精确、均匀的等离子体处理。IoN 100/40Q凭借其高性能的等离子体源、先进的气流控制设备和最先进的工艺室,是寻求突破等离子体加工技术界限的研究人员和工程师不可或缺的工具。无论是在研究实验室还是生产环境中,TECHNICS IoN 100/40Q都是一种可靠而高效的解决方桉,可用于要求苛刻的等离子体处理应用。
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