二手 PVA TEPLA / TECHNICS Micro PD 900 #26349 待售

PVA TEPLA / TECHNICS Micro PD 900
ID: 26349
Plasma Deposition w/ integral mass flow controllers and power supply.
PVA TEPLA/TECHNICS Micro PD 900是一款先进、高性能的半导体研发蚀刻和灰化设备。它配备了多种功能的组合,允许快速循环时间,精确的温度控制和出色的过程监控。TECHNICS Micro PD 900由直驱电动机提供动力,以实现最佳速度和扭矩控制。加热元件为优质镍铬合金,效率很高。温度范围从25˚C到900˚C,提供了广泛的蚀刻和灰化过程。该系统还具有低热漂移和控制面板上的数字显示屏。PVA TEPLA Micro PD 900具有符合人体工程学的设计,易于操作和维护。腔室尺寸为8 "(L) x 8" (W) x 12 "(H),内部空间可容纳深度可达5"的元件。该装置还有四个背面连接,便于取用冷却剂和废气。机器能够执行一系列的过程,包括深蚀刻,升华,氧化和剥离。它有一个独特的水化模式,使均匀蚀刻。此外,该工具有一个有效的清洁资产,减少灰烬期间颗粒。Micro PD 900还具有先进的安全型号,包括自动关闭、过热传感器和压力控制。这确保了可靠和安全的操作。这种蚀刻器/灰化器为研究人员提供了一种用于各种材料的蚀刻和灰化的综合设备。其先进的特点使其成为半导体研发的理想系统。
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