二手 PVA TEPLA / TECHNICS PlanarEtch II 750 #145818 待售

PVA TEPLA/TECHNICS PlanarEtch II 750是一款专门为满足先进光刻和微加工应用需求而设计的蚀刻器/asher。此蚀刻器/asher具有高精度处理能力,可靠、经济高效且易于操作。该设备配备了直视高分辨率彩色液晶屏幕和直观的计算机界面,可轻松完成程序加载以及通过系统菜单的简单导航。TECHNICS PlanarEtch II 750装有直流等离子体源，产生极稳定和可重复的过程，选择性和均匀性的最佳组合。该机组配备了创新的气控机器，用于精密气流监测和控制，以满足最苛刻的加工要求。气体流量、蚀刻速率、偏差设置等工艺参数可针对不同的应用进行调整。该工具能够处理尺寸不超过8.5 "x 8.5"的基板。基板位于30度角铝板上，采用非侵入式夹紧机构固定到位，确保最高精度和均匀性。该资产还有一个腔室压力控制模型，当设备在真空或压力下使用时保持最佳蚀刻条件。PVA TEPLA PlanarEtch II 750是一个高度可靠的系统,设计用于最大正常运行时间。该单元包括一个具有自动任务超时保护和防止过温关机的子系统监控机，以及电源互锁和门互锁。该工具还配备了一个强大的自动诊断程序,用于监控流程和资产健康状况的总体状况。PlanarEtch II 750是一站式蚀刻解决方桉。它与感应耦合等离子体、反应性离子蚀刻、接触蚀刻和n井蚀刻工艺兼容。这种通用的模型可以取代几种传统的溶液处理技术，从而为先进的光刻和微加工提供高质量、可重复和可靠的工艺。