二手 PVT RIE-212IPC #9387000 待售

PVT RIE-212IPC是一种专门为半导体工业设计的蚀刻器和asher设备。RIE-212IPC是一个高质量、先进的蚀刻和灰化系统，可以处理各种样品，包括晶圆、翻转芯片和3D结构。该设备具有RIE源、反作用室和多区卡盘单元。PVT RIE-212IPC上的RIE光源设计用于以受控方式蚀刻微型结构。它具有先进的控制系统，能够对各种蚀刻参数进行复杂的操作，如选择性、生产率和均匀性。RIE源还提供可变功率能力和电容器负载补偿，确保蚀刻过程精确可靠。RIE-212IPC上的反应室是一种高性能装置，其设计目的是确保一致的蚀刻和灰化操作。它的特点是采用集成冷却技术，以确保过程以最小的热负荷和高度控制的气流进行，从而有助于防止污染。PVT RIE-212IPC上的多区卡盘机设计用于在蚀刻和灰化操作过程中保存和处理样品。它具有碳条工艺，使样品处理不会残留在卡盘上，以及整个工艺的可变性。它还具有内置的流程监视器,以确保始终保持最佳流程参数。总体而言，RIE-212IPC是一个先进的蚀刻和灰化工具，其设计提供了高度的精度和可靠性。利用RIE源、反应室和多区卡盘资产，这种蚀刻和灰化器模型能够处理广泛的样品并提供一致的结果。