二手 QUATERNARY JSPCS-750 #9395897 待售

QUATERNARY JSPCS-750是一种在半导体工业中使用的蚀刻器/asher。它具有可调的光学参数，可在各种应用中发挥最大效用。JSPCS-750是一种全自动设备，包括多个温度传感器，用于精确的温度控制。该蚀刻器具有智能电子束模式发生器、先进的光学成像系统和Vacu-Vario真空装置，支持非常小的热敏材料的清洁应用。QUATERNARY JSPCS-750采用大容量储罐和多喷射设计,可确保对所有半导体基材材料进行完美的分布式蚀刻或灰化。无斜角加工室具有圆角，可实现更好的气体分布和最佳的蚀刻或灰度均匀性。蚀刻器/asher还具有Pulsatron调节和定时技术，旨在降低蚀刻时的化学浓度不稳定性。该机设计有可变压力控制室和温度控制，与蚀刻或灰化应用相匹配。此外,JSPCS-750还为非理想的进气值提供高级补偿,使用户可以轻松定制过程参数,如温度、压力和流速。蚀刻器/aser的精密真空工具可以安全地清除加工室内的蚀刻或灰化残留物和颗粒污染物,以便快速、方便地清洗介质。资产还包括可变位置/角度消融源,以实现可重复的过程均匀性。QUATERNARY JSPCS-750为经济高效的快速周转生产运行提供了高容量/吞吐量能力。采用动态HeNe-LiDAR激光束稳定模型进行了精确控制，提高了加工精度。该设备还集成了氧增强蚀刻化学，以改善需要高空间分辨率控制的半导体材料的加工。该蚀刻器还具有三级电源开关和电压监控功能,可实现高效的电源管理和无故障的长期运行。