二手 QUESTER / ALCANTECH MAS 801 #293592866 待售

QUESTER/ALCANTECH MAS 801是一款专门针对半导体行业工艺的高级蚀刻器/asher。它能够对包括硅、铝、二氧化硅和其他导电或电阻材料在内的各种半导体材料进行高精度蚀刻和灰化。QUESTER MAS 801具有三维真空室，配备了两台ALCANopro脉冲射频和直流发电机，使其能够提供非常精确和均匀的配电。这一特性使得该单元对于蚀刻工艺特别有用，确保了高精度和低颗粒水平。ALCANTECH MAS 801还有一个大型陶瓷蚀刻室，能够处理各种腔室尺寸，让客户根据所需的最终产品量身定制蚀刻配置。MAS 801的精密气流控制和监控设备进一步增强了其蚀刻能力，实现了对蚀刻速率和侧壁轮廓的精确控制。这种精确的控制允许对蚀刻过程进行更高级别的控制和准确性,减少缺陷并实现更高的吞吐量。QUESTER/ALCANTECH MAS 801还包含一个先进的排气过滤系统，这给了操作员对过程的最大控制。高效过滤器可确保不会随蚀刻气体排出清洁室污染物，如油和颗粒物。这种过滤装置还大大降低了区域内的噪声水平，保证了操作员的安全。QUESTER MAS 801具有众多安全功能，包括自锁安全门、气体超压监测机和封装冷却工具。ALCANTECH MAS 801巧妙设计的冷却资产确保蚀刻室尽快冷却，降低了因热冲击而发生事故的风险。MAS 801是一款可靠、精确、功能强大的蚀刻器/asher。它的高级功能，无论是在蚀刻和安全，允许它在最苛刻的环境中使用，最小的操作员监督。