二手 QUESTER / ALCANTECH MAS 801 #9226083 待售

QUESTER / ALCANTECH MAS 801
ID: 9226083
晶圆大小: 6"
优质的: 1990
Etcher, 6" 1990 vintage.
QUESTER/ALCANTECH MAS 801是一款设计用于多种微电子、MEMS和光电子制造应用的高端蚀刻器/asher。QUESTER MAS 801由高性能、可现场升级的计算机设备组成,具有64位多核处理器、8 GB内存和500 GB存储。它还包括各种硬件组件,如8位线性级、12位主轴以及用于精确控制蚀刻/灰化参数的高精度模拟控制。该系统支持多个控制模块进行精确编程、对准和实时监控,并且可以配备额外的传感器、处理室和设备,用于更复杂的操作。该机组按照汽车行业标准建造,采用不锈钢结构,密封的车门和隔间,以及UL批准的电源。ALCANTECH MAS 801的设计支持多种蚀刻/灰分工艺,如干蚀刻、蒸气相蚀刻、湿蚀刻和灰分。它还具有集成的真空系统、机械臂能力、安全监测以及控制蚀刻化学的专门冷却系统。MAS 801为复杂的蚀刻或ashing作业提供了卓越的灵活性和性能,并采用直观的GUI控件和全面的流程设置库进行设计,以实现快速设置和编程。该机还具有广泛的高级功能,包括互相关对准、自动预蚀刻阶段准备、自动过程控制和车载监控。该工具适用于广泛的应用,包括KOH蚀刻、高长宽比蚀刻、光辅助蚀刻和MEMS制造。QUESTER/ALCANTECH MAS 801采用创新设计,将现场过程控制与一系列智能功能相结合。这种灵活性和准确性的结合有助于确保成功的蚀刻和灰化性能,并最大程度地减少产品损坏和结果变化。该资产还为用户提供一系列自定义选项,如工艺配方和参数设置,以满足生产设施的需求,并满足质量和工艺控制的行业标准。
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