二手 RAMCO Ram 250 #9181761 待售

RAMCO Ram 250
ID: 9181761
晶圆大小: 6"
Batch plasma systems, 6".
RAMCO Ram 250 etcher/asher是任何工业环境下可靠且性能驱动的机器。它是一种单步、五相、大功率的表面准备设备,符合行业标准,同时增强了部件准备的灵活性。这台机器允许在同一工艺周期内同时对一种或多种产品进行高能气体蚀刻和灰化。蚀刻器/灰化器利用一个单一的工艺室,并使用高功率射频发生器维持的等离子体运行,从而允许在闭环真空密封大气中进行可重复的高能操作。机器分为加工室和驱动机柜两部分.加工室利用1、2或3个加工区根据需要蚀刻和/或灰分材料。温度、压力和射频功率可针对每个工艺区域进行单独控制,以适应零件和客户的需求。驾驶员柜内装有控制和安全系统。Ram 250的温度范围在80至310摄氏度之间,而压力范围在5 x 10-5至300毫巴之间。RAMCO RAM 250是一种稳定的系统,工作频率为13.56 MHz,功率范围可从0.1kW扩展到25kW,使蚀刻器/asher产生可重复的性能和质量结果。该装置采用坚固的框架结构,并按订单制造,并配有触摸屏用户控制和安全系统。该机的操作成本低,由于其高容量的效率和可用的较大的加工室。此外,每个加工区都可以独立监测和控制,使其非常适合过程一致性至关重要的区域。Ram 250 蚀刻器/asher提供卓越的输出,而不牺牲质量。它具有承担多项任务的能力,对于重复处理操作具有很高的可靠性。它的灵活性使得它既可用于批量加工,也可用于连续加工,而其高能量运行、长期耐用、低运营成本使其成为众多行业的绝佳选择。
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