二手 RAMCO Ram 250 #9181898 待售

RAMCO Ram 250是一款蚀刻器和asher，专为制造和实验室环境中的工业和研究应用而设计。它能够进行广泛的蚀刻、灰化和烧蚀过程,从而使用户能够控制蚀刻和灰化过程。Ram 250具有12 "x 14"电容耦合腔室,该腔室旨在最大程度地减少外部源的污染并提供统一的蚀刻轮廓。腔室采用不锈钢盖子和合金绝缘墙构成，包括一个单一的光掩模支架。它可以处理多达10英寸的晶片，具有一系列的蚀刻化学物质，如Ar、O2和CHF3。该系统在0.2-2.0 Torr的压力范围内运行，允许在湿法和干法蚀刻化学中同时进行高速率和高选择性蚀刻。除了蚀刻功能外,RAMCO Ram 250还提供灰化功能,使用户能够有选择地从基板上移除光刻涂层。它可以加工直径达10英寸、厚度达4英寸的基板。除灰化外，系统还提供溅射清洗、沉积蚀刻和蚀刻冲洗工艺。Ram 250有几个功能使其适合研发应用，包括其双频射频电源、可调气流、数字读数以及车载安全和校准控制。它还为多个工艺室提供了一个6端口旋转阀，确保多个基板可以同时处理。在安全方面，RAMCO Ram 250的设计符合职业安全及健康管理局（OSHA）的要求，并配有一个无通风口系统，以消除进入实验室的潜在危险气体排放。此外，经欧共体、UL、CSA批准。总体而言,Ram 250是一款多功能的蚀刻器和asher,在一个小巧、易于使用的单元中提供蚀刻和灰化功能。它具有可靠的性能,具有多种安全性和效率特点。RAMCO Ram 250是实验室和制造商的理想选择,它们寻求可靠且用途广泛的蚀刻器,并可用于各种蚀刻和灰化应用。