二手 RAMCO Ram 280 #293643660 待售

RAMCO Ram 280是一种最先进的蚀刻器/asher,主要设计用于半导体的工业蚀刻和灰化。本机采用反应室、精密的气体控制、机器人技术和压力调节相结合，确保最佳蚀刻和灰化效果。该设备利用一个由耐腐蚀材料构成的真空室，以及一个自动机器人系统进行蚀刻和灰化。机械臂采用遥控磨料工具量身定制，晶圆采用拾取装置操作，可调节压力调节器用于精确控制。采用压力调节器控制气体的输送，以获得最佳的蚀刻和灰化效果。直观的用户界面包括图形用户界面（GUI）和触摸屏控件，便于操作。它还具有自动验证用户ID并允许访问各种参数和功能的软件。此外,RAMCO MES软件套件允许从以前的流程中持久访问数据,并有效跟踪参数和结果。Ram 280配备了温度控制机，用于真空室的温度监测。该工具包括温度传感器、热电偶和热电偶数据记录器，能够在蚀刻和灰化过程中精确控制温度。该资产的设计具有过程控制和监控功能，以确保高蚀刻/灰分产量和可靠性。这是通过一个过程监控模型来实现的，该模型提供了对过程变量的实时监控，从而可以控制蚀刻/灰烬过程。流程监控设备可配置为监控和报警流程变量超出范围限制,提供准确的反馈和控制。此外,该系统还具有用于生产和质量控制的数据收集的过程可追踪性功能。RAMCO Ram 280是一个高效、准确和可靠的蚀刻器/asher单元。它的设计具有最高级别的安全功能,包括气体安全关闭、温度监测和安全壳,以确保安全的操作环境。无论是在工艺开发还是生产环境中使用,Ram 280都提供了质量蚀刻/灰分结果。